根據《華中科技大學科技成果轉化管理辦法》規(guī)定,對“一種針對MOCVD系統(tǒng)的測量技術”成果轉化相關事項公示如下:
一、成果名稱及簡介
該成果包含如下2項知識產權:
(1)發(fā)明專利:一種實時測量MOCVD反應腔內氣相溫度的飛秒CARS系統(tǒng)
發(fā)明人:方海生,聶圻春,劉勝,甘志銀
專利號:ZL202011538459.9
專利權人:華中科技大學
簡介:本發(fā)明公開了一種實時測量MOCVD反應腔內氣相溫度的飛秒CARS系統(tǒng),包括MOCVD腔體系統(tǒng)、飛秒CARS系統(tǒng),所述MOCVD腔體系統(tǒng)上設MOCVD反應腔激光入射口和MOCVD反應腔激光出射口,所述飛秒CARS系統(tǒng)的激光出射口與所述MOCVD反應腔激光入射口連接,所述飛秒CARS系統(tǒng)的激光入射口與所述MOCVD反應腔激光出射口連接。本發(fā)明利用飛秒CARS的知識,通過飛秒激光脈沖激發(fā)MOCVD中氣相分子的拉曼振動,測量CARS信號,從而得到氣相分子的溫度信息,這為MOCVD氣相測溫提供了一種全新的解決方案。主要優(yōu)點在于氣相測溫范圍大,測量精度高,響應時間短,可測量反應腔全場溫度。同時飛秒CARS系統(tǒng)的光學回路簡單,成本低。
(2)發(fā)明專利:一種液體相對介電常數的測量方法及系統(tǒng)
發(fā)明人:方海生,陳浩,聶圻春,高仙仙
專利號:ZL202011300376.6
專利權人:華中科技大學
簡介:本發(fā)明屬于液體介電常數測量相關技術領域,其公開了一種液體相對介電常數的測量方法及系統(tǒng),該方法包括:將待測液體滴加至介電材料層表面,獲取此時所述待測液體的液滴與所述介電材料層的第一接觸角;在所述介電材料層的背面設置至少覆蓋所述液滴的金屬層,將所述金屬層和液滴分別與電源的正極和負極連接,以對所述液滴施加電壓,穩(wěn)定后獲取此時所述液滴與所述介電材料層的第二接觸角;根據上述第一接觸角和第二接觸角獲取所述待測液體的相對介電常數。本申請中的方法和系統(tǒng)操作簡單,普適性廣,測量精度高。
二、擬交易價格
普通許可:15萬元
三、價格形成過程
經全體發(fā)明人同意,并與寧波恒普真空科技股份有限公司協(xié)商,雙方同意該成果以協(xié)議定價15萬元實施普通許可,許可期限5年。
特此公示,公示期15日,自2021年12月28日起至2022年1月11日。如有異議,請于公示期內以書面形式實名向我院反映。
聯(lián)系人:曹老師
聯(lián)系電話:87558732
科學技術發(fā)展院
2021年12月28日