根據(jù)《華中科技大學科技成果轉(zhuǎn)化管理辦法》規(guī)定，對“一種集成式阻抗負載聲表面波氣體傳感器”成果轉(zhuǎn)化相關(guān)事項公示如下：
一、成果名稱及簡介：
該成果包含如下1項知識產(chǎn)權(quán)：
（1）發(fā)明專利：一種集成式阻抗負載聲表面波氣體傳感器
發(fā)明人：羅為，傅邱云，王曉碧，鄭志平，胡云香
專利號：ZL201611225354.1
專利權(quán)人：華中科技大學
簡介：本發(fā)明公開了一種基于Si襯底的集成式阻抗負載聲表面波氣體傳感器，包括襯底、壓電層、輸入/輸出叉指換能器、反射叉指換能器、敏感叉指電極和氣敏薄膜。通過在Si襯底上生長一層薄的SiO2絕緣層和壓電層，具有良好的溫度特性；Si襯底材料具有低成本、大尺寸、可導電的特點，能與集成電路產(chǎn)業(yè)兼容；對叉指電極的排列結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化，能減少外接傳感器造成的聲波反射，同時可以減少連接線導致的寄生效應，叉指換能器和敏感叉指電極一次制成，確保了制造過程的簡易性，易于大規(guī)模生產(chǎn)。本發(fā)明實現(xiàn)了傳感器的無線無源測量，可以將易受外界影響的傳感部分與信號傳送部分分開，擴展了傳感器的適用范圍。
二、擬交易價格
普通許可：60萬元
三、價格形成過程
經(jīng)全體發(fā)明人同意，并與武漢華星光電技術(shù)有限公司協(xié)商，雙方同意該成果以協(xié)議定價60萬元實施普通許可，許可期限為自合同簽訂之日起一年。
特此公示，公示期15日，自2020年3月4日起至2020年3月18日。如有異議，請于公示期內(nèi)以書面形式實名向我辦反映。
聯(lián)系人：臧老師
聯(lián)系電話：027-87540925，15846590898
科技成果轉(zhuǎn)化辦公室
2020年3月3日
