根據(jù)《華中科技大學科技成果轉(zhuǎn)化管理辦法》規(guī)定，對機械科學與工程學院李小平老師團隊的“一種恒溫空氣循環(huán)系統(tǒng)”等五項無形資產(chǎn)成果轉(zhuǎn)化相關(guān)事項公示如下：
一、成果名稱及簡介：
成果包含如下5項知識產(chǎn)權(quán)：
（1）發(fā)明專利：一種恒溫空氣循環(huán)系統(tǒng)
發(fā)明人：李小平、曹迪、王劍暉、王錦春
專利號：ZL202011033941.7
專利權(quán)人：華中科技大學，武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
簡介：本發(fā)明專利的恒溫循環(huán)空氣系統(tǒng)在多級溫度控制的基礎(chǔ)上提出了一種長期運行穩(wěn)定節(jié)能的方案，能夠根據(jù)新風溫度自適應(yīng)進行壓縮機狀態(tài)切換。設(shè)計了兩個重要回路用于旁通流經(jīng)壓縮機和流經(jīng)腔體的氣體，通過調(diào)節(jié)風機和風閥的開度來調(diào)節(jié)壓縮機狀態(tài)切換時的流量調(diào)節(jié)，避免其對腔體溫度進行干擾。
（2）發(fā)明專利：一種浸沒式光刻機的溫度控制方法及裝置
發(fā)明人：李小平、曹迪
專利號：ZL202011513098.2
專利權(quán)人：華中科技大學，武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
簡介：本發(fā)明提供一種浸沒式光刻機的溫度控制方法及裝置，包括：通過熱交換器使得PCW與光刻機UPW進行換熱，以及利用加熱器對UPW加熱，以對UPW升溫，對UPW溫度進行粗調(diào)節(jié)時，基于檢測的三個溫度值和UPW溫度控制目標確定UPW溫度的軌跡、PCW的流量控制模型以及加熱器的功率控制模型；采用模糊規(guī)則自適應(yīng)修正PCW的流量控制模型以及加熱器的功率控制模型；將粗調(diào)節(jié)后的UPW經(jīng)過遠傳管路，通入光刻機內(nèi)部經(jīng)過半導體制冷片調(diào)節(jié)后分為兩路UPW注液，通過兩個加熱器分別對兩路UPW注液加熱；對UPW溫度進行精調(diào)節(jié)時，制冷片的調(diào)節(jié)量由兩路UPW注液兩個加熱器的功率、兩路UPW注液流量以及兩路UPW注液的溫度設(shè)定值確定。本發(fā)明提高了光刻機的溫度控制精度。
（3）發(fā)明專利：一種液膜蒸發(fā)功率的測試裝置及方法
發(fā)明人：李小平、曹迪、王劍暉、王錦春
專利號：ZL202011066071.3
專利權(quán)人：華中科技大學，武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
簡介：本發(fā)明提供了一種液膜蒸發(fā)功率的測試裝置。該裝置能模擬光刻機一維掃描運動，能夠在線實時測量液膜的質(zhì)量變化。本發(fā)明使用包含天平的測試裝置采集液膜的質(zhì)量變化。通過天平的固定采樣周期采集到晶圓和液膜的總質(zhì)量數(shù)據(jù)，直至數(shù)據(jù)不再發(fā)生變化，從而得到液膜質(zhì)量變化情況。本發(fā)明提供了一種液膜蒸發(fā)功率的測試方法。本發(fā)明提供的測試方法尤其適用于浸沒式光刻機掃描牽拉形成的液膜。本發(fā)明所述的蒸發(fā)功率針對的是液膜蒸發(fā)所造成的總熱量變化。針對浸沒式光刻機掃描牽拉形成的液膜，通過采集液膜的質(zhì)量變化情況，再根據(jù)液膜在恒定溫度下的汽化熱，可得出液膜的蒸發(fā)功率。此方法將測試熱量轉(zhuǎn)化成了測試質(zhì)量，測試結(jié)果更為明顯，數(shù)據(jù)將更易處理與分析。
（4）發(fā)明專利：一種浸沒式光刻機浸液溫控裝置
發(fā)明人：李小平、曹迪
專利號：ZL202010994847.1
專利權(quán)人：華中科技大學，武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
簡介：本發(fā)明提供一種浸沒式光刻機浸液溫控裝置，包括：第一級溫控模塊通過對PCW循環(huán)回路的加熱功率和流量控制，調(diào)節(jié)PCW循環(huán)回路中PCW的溫度，并通過將PCW循環(huán)回路和UPW循環(huán)回路熱交換來調(diào)節(jié)從光刻機中回收的UPW的溫度，使UPW的溫度達到穩(wěn)定的設(shè)定值；第二級溫控模塊將經(jīng)第一級溫控模塊調(diào)節(jié)溫度后的UPW液體分成兩路UPW通路，并基于兩路UPW通路熱負載的差異調(diào)節(jié)兩路UPW的溫度使得兩路UPW的溫度均溫度保持在設(shè)定值；第二級溫控模塊流出的兩路UPW注入所述浸沒式光刻機，使得浸沒式光刻機能夠基于UPW浸沒流場工作。本發(fā)明控制PCW的溫度和流量與浸液進行熱交換，對PCW溫度波動具有緩沖能力。
（5）發(fā)明專利：CONSTANT TEMPERATURE AIR CIRCULATION SYSTEM（一種恒溫空氣循環(huán)系統(tǒng)）
發(fā)明人：李小平、曹迪、王劍暉
專利號：17344993
專利權(quán)人：華中科技大學，武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
簡介：The patented constant temperature circulating air system of the present invention proposes a long-term stable and energy-saving solution on the basis of multi-level temperature control, and can switch the state of the compressor adaptively according to the fresh air temperature. Two important circuits are designed to bypass the gas flowing through the compressor and the cavity. By adjusting the opening of the fan and the air valve, the flow adjustment when the compressor is switched is avoided to prevent it from interfering with the cavity temperature.
二、擬交易價格
協(xié)議轉(zhuǎn)讓：29.3萬元。
三、價格形成過程
學校委托評估公司對該項目進行資產(chǎn)評估，評估價值為58.6萬元。經(jīng)全體發(fā)明人同意，并與共有權(quán)利人武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司協(xié)商，雙方同意華中科技大學所占該成果的50%份額以協(xié)議定價29.3萬元實施轉(zhuǎn)讓。
特此公示，公示期15日，自2022年12月15日起至2022年12月29日。如有異議，請于公示期內(nèi)以書面形式實名向我院反映。
聯(lián)系人：譚老師、曹老師
聯(lián)系電話：87558732
科學技術(shù)發(fā)展院
2022年12月15日
