根據(jù)《華中科技大學(xué)科技成果轉(zhuǎn)化管理辦法》規(guī)定，對機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院陳蓉團(tuán)隊(duì)“大幅面空間隔離型原子層沉積技術(shù)”成果轉(zhuǎn)化相關(guān)事項(xiàng)公示如下：
一、成果名稱及簡介
該成果包含如下3項(xiàng)知識產(chǎn)權(quán)：
（1）發(fā)明專利：一種原子層沉積前驅(qū)體輸出裝置
專利號：ZL201310585179.7
發(fā)明人：陳蓉，鄧章，曹坤，單斌，文艷偉
簡介:本發(fā)明公開了一種原子層沉積前驅(qū)體輸出裝置，該輸出裝置由裝載前驅(qū)體的鋼瓶），緩存腔，連接所述鋼瓶與緩存腔的第一開關(guān)閥，位于所述緩存腔腔體內(nèi)且與所述緩存腔腔體氣密性良好的運(yùn)動活塞，以及控制輸出主管路的第二開關(guān)閥構(gòu)成。本發(fā)明通過固定空間的氣體體積變化，每次穩(wěn)定的排出等量前驅(qū)體，保證定量輸出前驅(qū)體，能夠更好的適應(yīng)于前驅(qū)體用量優(yōu)化分析及在線監(jiān)測系統(tǒng)分析。
（2）發(fā)明專利：一種用于大型非平整表面沉積的裝置及方法
專利號：ZL201310583654.7
發(fā)明人：陳蓉，鄧章，段晨龍，單斌，文艷偉
簡介：本發(fā)明公開了一種原子層沉積裝置，包括原子層沉積單元噴頭，所述單元噴頭包括高壓氣流入口，惰性隔離氣體入口通道，出氣口通道，和兩種前驅(qū)體入口通道，其中所述高壓氣流入口噴出高壓氣體以頂起整個沉積裝置，該裝置是微型開放式且可移動可擴(kuò)展，能夠適用于大型非平整結(jié)構(gòu)表面薄膜沉積，并可直接經(jīng)過簡單多塊組合，增加沉積效率。
（3）發(fā)明專利：一種用于空間隔離原子層沉積的模塊化噴頭及裝置
專利號：ZL201710336412.6
發(fā)明人：陳蓉，王曉雷，單斌，李云，林驥龍，馬玉春，但威
簡介：本發(fā)明公開了一種用于空間隔離原子層沉積的模塊化噴頭及裝置。模塊化噴頭包括：前驅(qū)體通道組件、密封組件；前驅(qū)體通道組件包括板狀基體、前驅(qū)體通道、氣體管路；前驅(qū)體通道布置于板狀基體正面，自上而下延伸，前驅(qū)體通道的頂端連通氣體管路；密封組件設(shè)于板狀基體正面，用于對前驅(qū)體通道進(jìn)行密封，防止前驅(qū)體泄露。本發(fā)明的模塊化噴頭，由多個部件構(gòu)成整體模塊，并且通過前軀體通道對噴入的氣體進(jìn)行分流和緩沖，實(shí)現(xiàn)沉積均勻，且可以根據(jù)實(shí)際需求選取任意數(shù)量進(jìn)行組合。本發(fā)明的裝置包括多個模塊化噴頭，以一定的間隔排列，分別通入氧化物前驅(qū)體源和金屬前驅(qū)體源，使得基底在前驅(qū)體單元下運(yùn)動一個來回沉積多層薄膜，大大提高了薄膜沉積效率。
二、擬交易價(jià)格
普通許可：500萬許可費(fèi)+按銷售總額的5%提成（若利潤分配占設(shè)備銷售利潤40%以上，則雙方可針對該分配另行協(xié)商，但不得低于總銷售額的3%）
三、價(jià)格形成過程
經(jīng)全體發(fā)明人同意，并與蘇州晟成光伏設(shè)備有限公司協(xié)商，雙方同意該成果以協(xié)議定價(jià)500萬元實(shí)施許可，期限10年。
特此公示，公示期15日，自2022年6月16日起至2022年6月30日。如有異議，請于公示期內(nèi)以書面形式實(shí)名向我院反映。
聯(lián)系人：譚老師、曹老師
聯(lián)系電話：87558732
科學(xué)技術(shù)發(fā)展院
2022年6月16日
