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    公示

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    科技成果轉化公示〔2021〕28號——微納結構制備及檢測技術

    來源:    作者:    發(fā)布時間:2021-07-05    閱讀量:


    根據(jù)《華中科技大學科技成果轉化管理辦法》規(guī)定,對“微納結構制備及檢測技術”成果轉化相關事項公示如下:

    一、成果名稱及簡介:

    成果包含如下4項知識產權:

    發(fā)明專利1:一種空心微針陣列制造方法

    發(fā)明人:廖廣蘭,林建斌,譚先華,史鐵林,湯自榮

    專利號:ZL 201710416112.9

    專利權人:華中科技大學

    簡介:本發(fā)明屬于微納結構制造工藝領域,并公開了一種空心微針陣列制造方法,包括以下步驟;1)鍍金屬種子層;2)旋涂負性光刻膠層;3)對負性光刻膠層進行前烘;4)曝光:在掩膜版的上方采用紫外光源對負性光刻膠層進行曝光,則光穿過掩膜版后透入負性光刻膠層,使負性光刻膠層的部分區(qū)域發(fā)生光固化反應;5)顯影:采用顯影液對負性光刻膠層進行顯影,以去除未發(fā)生光固化反應的負性光刻膠;6)電鍍結構層,形成微針針壁;7)采用有機溶劑去除負性光刻膠,在基底上獲得空心微針陣列結構。本發(fā)明由于小尺寸掩膜版圖形的光學衍射作用,顯影后會在負性光刻膠層上形成上小下大的空洞結構,由此電鍍填充得到的金屬微針針壁具有很好的結構穩(wěn)定性。


    發(fā)明專利2:一種超致密Cu(OH)2納米線的制備方法及產品

    發(fā)明人:廖廣蘭,林建斌,譚先華,方涵,史鐵林,湯自榮

    專利號:ZL 201811208448.7

    專利權人:華中科技大學

    簡介:本發(fā)明屬于微納制造技術領域,并公開了一種超致密Cu(OH)2納米線的制備方法及產品。該方法包括,1)ZnO種子層制備:在基底上沉積一層ZnO薄膜;2)ZnO催化納米棒的制備:在所述沉積有ZnO的基底置于Zn(NO3)2·6(H2O)和C6H12N4混合生長液中;3)Cu種子層制備:在所述ZnO催化納米棒表面沉積一層Cu種子層;4)生長納米線:將沉積有Cu種子層的基底置于NaOH和(NH4)2S2O8的混合溶液中,以生長超致密Cu(OH)2納米線。本發(fā)明還公開以一種超致密Cu(OH)2納米線。本發(fā)明制備形成的Cu(OH)2納米線的形貌具有質量更高、更加致密、比表面積大的特性。


    發(fā)明專利3:一種基于稀疏的微小缺陷高頻超聲顯微成像超分辨的方法

    發(fā)明人:廖廣蘭,張貽春,史鐵林,王西彬,湯自榮,洪源,王肖,陳科鵬

    專利號:ZL 201610827780.6

    專利權人:華中科技大學

    簡介:本發(fā)明屬于稀疏超分辨檢測領域,并公開了一種基于稀疏的微小缺陷高頻超聲顯微成像超分辨的方法。該方法包括如下步驟:執(zhí)行過采樣高頻超聲顯微C掃成像;根據(jù)過采樣時的采樣步長與超聲探頭分辨率,計算出探頭點擴散函數(shù)k;由點擴散函數(shù)根據(jù)進行稀疏超分辨計算,獲得最終高分辨圖像。本發(fā)明方法實現(xiàn)了高頻顯微成像對現(xiàn)微小缺陷進行超分辨顯微成像,增強圖像信噪比和分辨率,提高微小缺陷檢測的準確性,同時對于微觀缺陷的檢測有著重要意義,有效推動了微器件可靠性的發(fā)展。


    發(fā)明專利4:一種基于數(shù)字散斑的遠心顯微雙目立體視覺測量方法

    發(fā)明人:廖廣蘭,陳科鵬,史鐵林,王西彬,湯自榮,張貽春,洪源,王肖

    專利號:ZL 201610993471.6

    專利權人:華中科技大學

    簡介:本發(fā)明公開了一種基于數(shù)字散斑的遠心顯微雙目立體視覺測量方法,包括以下步驟;1)搭建遠心顯微雙目立體視覺測量平臺;2)對測量平臺進行標定,確定左、右遠心相機的內外參數(shù)及相對位置關系;3)通過投影儀在微小物體表面投射數(shù)字散斑圖案;4)利用左、右遠心相機同時拍攝表面覆蓋有散斑圖案的待測微小物體,采集左散斑圖像和右散斑圖像;5)對左散斑圖像和右散斑圖像進行圖像匹配,獲取左散斑圖像和右散斑圖像中對應點的匹配關系,根據(jù)左、右遠心相機的內外參數(shù),相對位置關系獲得微小物體的三維點云數(shù)據(jù);6)根據(jù)三維點云數(shù)據(jù)重建微小物體的三維形貌,獲取待測微小物體三維尺寸信息。本發(fā)明具有測量速度快,測量精度高等優(yōu)點。

    二、擬交易價格

    協(xié)議轉讓:8萬元

    三、價格形成過程

    學校委托武漢中康正資產評估有限公司對該項目進行資產評估,評估價值為人民幣7.92萬元。經(jīng)全體發(fā)明人同意,并與上海緯冉科技有限公司協(xié)商,雙方同意該成果以協(xié)議定價8萬元轉讓。

    特此公示,公示期15日,自2021年7月5日起至2021年7月19日。如有異議,請于公示期內以書面形式實名向我院反映。

    聯(lián)系人:曹老師

    聯(lián)系電話:87558732

    科學技術發(fā)展院

    2021年7月5日

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